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2023/12/14气浮平台

对于一些精密运动和测量设备而言,需要二维、三维或者更多维度的高精度的运动和控制,精度需要达到微米或者纳米级精度。在这种情况下,气浮平台无疑是极佳的选择。

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气浮平台(图2)

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