高精密---生产、检测能力
产品介绍
 | 空气轴承 技术指标 规格：Ø30-Ø500 旋转精度：<100nm 转速：0-30000rpm |
 |
 | 气浮转台 技术指标 直径：20-2000mm 承载：0-16T 旋转精度：<100nm 转速：可定制 |
 | 气浮平台 技术指标 x行程：1000mm Y行程：1000mm 运行速度：1000m/s 直线度：1um 定位精度：2um |
 | 气浮平台 技术指标 节流：多孔 ，小孔 耗气量：可控 尺寸：任意定制 气浮高度：0.1-2um |
高精密---生产、检测能力
产品介绍
| 空气轴承 技术指标 规格：Ø30-Ø500 旋转精度：<100nm 转速：0-30000rpm |
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| 气浮转台 技术指标 直径：20-2000mm 承载：0-16T 旋转精度：<100nm 转速：可定制 |
| 气浮平台 技术指标 x行程：1000mm Y行程：1000mm 运行速度：1000m/s 直线度：1um 定位精度：2um |
| 气浮平台 技术指标 节流：多孔 ，小孔 耗气量：可控 尺寸：任意定制 气浮高度：0.1-2um |
精效气悬浮设备最长已稳定运行小时！